應用材料公司日前發布了兩款新系統:AKT-20KTMTFE PECVD* 和Applied AKT-40KTMTFE PECVD,主要面向高解析度、輕薄型電視和移動設備的柔性OLED 顯示屏幕的批量生產,能有效沉積薄膜封裝阻隔層,對保護敏感性極高的OLED 器件具有重要意義,成為材料工程領域的又一項重大突破。這兩款新系統能幫助顯示器制造商替代設備前方的剛性絕緣玻璃,開發出適用于新一代消費電子產品的可彎曲和曲面顯示屏。
OLED 屏幕憑借鮮艷亮麗的色彩和低能耗特性已在智能手機中得到迅速普及,其中柔性OLED 是移動通信領域增長最迅猛的顯示設備。
全新的薄膜封裝(TFE)系統(925 mm×1 500 mm基板為20K,1 250 mm×2 200mm 基板為40K)面向不同的顯示細分市場,可以更靈活地滿足各類大、小尺寸的更加輕薄型柔性OLED 顯示設備不斷增長的需求。
Applied AKT TFE 產品線的主要特色在于其能提供極低透水和透氧性的擴散阻擋薄膜,從而大幅提升OLED 的使用壽命。這些高性能薄膜都在100 ℃以下的環境中沉積,解決了OLED 材料在暴露于外部環境中易于降解的問題。此外,該系統采用獨特的視覺對準技術,保證了精準的掩膜定位和沉積,使顯示設備制造商能減少光刻和蝕刻工序,從而降低生產成本。
*TFE=薄膜封裝;*PECVD=等離子體增強化學氣相沉積